SmartEBIC 系统

利用电子束感生电流探测系统来表征您半导体样品的电学性能。

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优点: 

 

  • 对材料样品或电子器件的电性能进行定量表征:原位示踪元素分析、识别 p-n 节点位置并测量耗尽区宽度、确定载流子的扩散长度和缺陷的复合强度
  • 设计用于低噪声直流电测量,从而实现皮安级别的测量精度
  • 从样品台和样品电极,到采集和分析软件在内的完整系统
  • 可用于实验控制和数据分析的软件,操作简便但功能强大,包括自动设置实验流程

资源:

 
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