光谱成像

用于生成电子能量损失谱 (EELS) 数据的空间分辨分布的系统方法。

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概述: 

光谱成像 (SI) 技术可用于生成电子能量损失谱 (EELS) 数据的空间分辨分布。典型实验包括创建数据立方体,其中两个立方体轴与空间信息相对应,第三个维度代表能量损失谱。所产生的数据集被称为光谱图像(在 1D 情况下被称为谱线扫描),您可以通过多种方式获取图像并进行可视化。要创建数据立方体,您可以在扫描透射电子显微镜模式 (STEM SI) 下获取每个空间像素位置的完整光谱,或者在能量过滤 TEM 模式 (EFTEM SI) 下收集数据立方体单一能量切片位置的窄能量带上的 2D 图像。

光谱成像的一个关键优势是能够在获取后处理决定。获得每个数据点位置的完整光谱后,就可以创建定量图像和轮廓,以识别和纠正数据伪像、了解图像对比度并确定数据集限制。

在 STEM 实验中,电子束聚焦到小探针中,然后扫描样品,以连续的方式获取空间信息 (X,Y)。在 STEM SI 模式中,您可以获取每个像素位置上的完整光谱,逐光谱构建光谱图像。

或者,EFTEM SI 使用宽平行电子束(例如 TEM),逐图像平面获取光谱数据,同时改变每个平面的能量。在这种模式中,您将以平行形式获取图像,而光谱以连续形式构建。

图像获取完毕后,逐光谱 (X,Y) 或逐平面 (\DeltaE) 对光谱图像(EFTEM SI 或 STEM SI)进行可视化。光谱和空间信息汇聚于一个数据集中,为数据分析提供了更多的可能性。您可以对整个光谱图像数据集应用任何一个光谱分析方法,进行空间分辨光谱分析。信息量的增加为材料分析和表征提供了有力的工具。

资源:

 

应用

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