能量过滤成像(EFTEM)

能量过滤透射电子显微术 (EFTEM) 是一系列成像技术,用于强化、映射和定量图像中的元素和化学特性。

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概述: 

能量过滤透射电子显微术 (EFTEM) 是一系列成像技术,利用能量损失光谱的特性来增强对比度、消除色差效应并在图像中创建独特的对比效果。主要的应用包括:

  • 对比增强 – 去除导致背景雾化的非弹性散射电子,从而改善图像和衍射图的对比度
    • 包括零损失滤波、最可能损失成像、对比调节和前碳成像
  • 映射 – 通过用非弹性散射电子形成图像来创建纳米级分辨率的元素/化学图
    • 包括 2 窗口和 3 窗口元素映射/跃变比成像和化学成像 – 提供精细的结构成像
  • 分析 – 记录和量化电子能量损失谱(和图),从而提供 TEM 样品的化学分析

EFTEM 的基本原则是,用高能量电子束照射极薄的样品。当大部分电子无阻碍地通过样品时,部分电子会与样品相互作用,并导致弹性或非弹性散射。非弹性散射会同时导致能量损失和动量改变,这在内壳层电离的情况下是样品中的元素特征。

资源:

 

应用

EELS.info

使用 DualEELS™ 模式中高能量边缘的原子级 EELS 映射
以 DualEELS 模式对 III-V MOSFET 设备制造的金属合金欧姆接触进行高速 EELS 成分分析
EELS:用于研究生物材料的工具
使用 GIF Quantum® 系统,快速同时从包含重金属 Au 和 Pd 的催化剂粒子中获取 EELS 光谱中的低损耗和铁芯损耗区域
使用 Gatan Microscopy Suite® 软件中的同步 EELS 和 EDS 的快速 STEM 光谱成像
回顾光谱成像领域的最新进展及其向倒易空间领域的延伸
用于解析原子级 EELS 光谱中的重叠边缘的 MLLS 拟合方法的使用

海报

对基于 Pd-Au 的催化剂的快速 STEM EELS 光谱成像分析
新一代 EELS 分光计效率极高,能够以毫秒速度从重元素中获取细节详实的 EELS 光谱,生成具有出色信息内容的成分图。

使用 EELS 进行生物材料的定量研究
经实践证明,EELS 是从生物样品中获取成分信息的宝贵工具。除成分以外,EELS 还提供了对化学特性的深入见解,揭示了化学键性质和不同的氧化态。

以 DualEELS 模式进行高阻抗金属合金的高速成分分析
证明了通常可从高能量边缘获取具备高对比度和高信噪比的高速原子 EELS 成分图。

使用 DualEELS 模式中高能量边缘的快速原子级 EELS 映射分析
证明了使用高能量边缘进行的原子 EELS 映射非常有效。高能量边缘的高信背比简化了数据提取。

对 III-V MOSFET 高介电系数叠层栅介质中的接触面进行原子解析 EELS 分析
证明了 EELS SI 可揭示原子列级的高介电系数 MOSFET 设备栅元素分布。

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