SmartEBICシステム

半導体材料の電気的特性や材料の欠陥等の情報を提供します。

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メリット: 
  • 材料および装置(in-situ IVトレーシングなど)の電気的性質の特徴を定量的に示し、p-n接合位置を識別して、空乏領域の幅を計測し、少数キャリア拡散長および欠陥組み替え強度を特定
  • picoamp精度の電流計測が可能な低ノイズDC計測用に設計
  • 専用試料ホルダーおよび試料へのコンタクト、画像取得および分析ソフトウェアまでの完全なシステム
  • 自動セットアップルーチンを含む実験制御とデータ分析のシンプルかつ強力なソフトウェア
  • Gatan冷却ステージとの互換性

リソース:

 

モデルSmartEBIC

データシート

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アプリケーション

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