冷却ステージ

電気および電子材料等の低温観察や温度依存性の研究を目的としたヘリウムおよび液体窒素ステージ。 

メリット 研究の着目点 メディアライブラリ パブリケーション リソース トップに戻る
メリット: 
  • 電子及びイオンビーム敏感な材料を高照射電流で安定観察及び分析
  • 低温位相の研究が可能
  • 特にカソードルミネッセンス(CL)のイメージングおよびスペクトル解析を強化
モデル番号 基準温度 クールダウン時間 最高動作温度 チルト 回転 エレクトリカルフィードスルーオプションの追加
C1001 -185 °C 10分 50 °C 45° ±5°
C1002 -185 °C 10分 200 °C 45° ±5°
C1003 -185 °C 10分 400 °C 45° ±5°
CF302 6 K 45分 140 K    
CF302M 8 K 55分 140 K   ±5°
 
液体窒素冷却ステージC1001、C1002、C1003
  • 取り付けおよび取り外しが簡単なため、標準的なSEMステージに搭載可能
  • 窒素ガスによってステージを-185 °C以下まで冷却
  • 効率的な熱設計によって、急速なクールダウンと安定した温度が実現
  • 一体型ヒーターと温度センサーによって正確な制御が可能
  • 外部液体窒素熱交換器によってLN2の沸騰による振動を排除
  • 上限温度オプションの温度がさらに高くなり、より柔軟な実験が可能
液体ヘリウム冷却ステージCF302、CF302M
  • 低ドリフトおよび低振動用に特別に設計されており、液体ヘリウムの消費を最小限に抑制
  • 専用のチャンバードアとX、Y、Z軸手動マイクロメータ付きSEMステージ
  • GatanのC1010エアロックシステムとの互換によって、試料をより短時間で交換可能
  • CF302Mはヘリウム冷却ステージモジュールで、純正のSEMステージに取り付けられるCF302よりも注意が必要
  • システムは、フレキシブルトランスファーチューブストレージベッセル、上部接続ブラダーおよび弁、ガスフローコントローラー、ガスフローポンプ、およびデジタル温度コントローラーで構成
  • 目的の用途および構成に応じて、オプションの放射シールドを追加可能 
デュアル冷媒オプション
  • 液体ヘリウム冷却ステージを液体ヘリウムまたは液体窒素のいずれかで稼働可能
  • C1002製品の範囲に類似する冷却窒素ガス経路を使用して機能させる 
アクセサリ —アンチコンタミネーターシステム
  • アクセサリとしてC1005、C1006、またはC1007アンチコンタミネーターシステムが提案可能
 モデル番号 基準温度 クールダウン時間 最高動作温度 ヒーター制御 単独冷却回路
C1005 -185 °C以下 10分 50 °C    
C1005B -185 °C以下 10分 50 °C  
C1006 -185 °C以下 10分 50 °C  
C1007 -185 °C以下 10分 50 °C  

Publications

Materials Characterization
2014

Donius, A. E.; Obbard, R. W.; Burger, J. N.; Hunger, P. M.; Baker, I.; Doherty, R. D.; Wegst, U. G. K.

Icarus
2013

Golding, N.; Burks, C. E.; Lucas, K. N.; Fortt, A. L.; Snyder, S. A.; Schulson, E. M.

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