メリット:
- 電子及びイオンビーム敏感な材料を高照射電流で安定観察及び分析
- 低温位相の研究が可能
- 特にカソードルミネッセンス(CL)のイメージングおよびスペクトル解析を強化
| モデル番号 | 基準温度 | クールダウン時間 | 最高動作温度 | チルト | 回転 | エレクトリカルフィードスルーオプションの追加 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| C1001 | -185 °C | 10分 | 50 °C | 45° | ±5° | √ | |
| C1002 | -185 °C | 10分 | 200 °C | 45° | ±5° | √ | |
| C1003 | -185 °C | 10分 | 400 °C | 45° | ±5° | √ | |
| CF302M | 8 K | 55分 | 140 K | ±5° | √ | ||
液体窒素冷却ステージC1001、C1002、C1003
- 取り付けおよび取り外しが簡単なため、標準的なSEMステージに搭載可能
- 窒素ガスによってステージを-185 °C以下まで冷却
- 効率的な熱設計によって、急速なクールダウンと安定した温度が実現
- 一体型ヒーターと温度センサーによって正確な制御が可能
- 外部液体窒素熱交換器によってLN2の沸騰による振動を排除
- 上限温度オプションの温度がさらに高くなり、より柔軟な実験が可能
液体ヘリウム冷却ステージ CF302M
- 低ドリフトおよび低振動用に特別に設計されており、液体ヘリウムの消費を最小限に抑制
- CF302Mは、既存のSEMステージに取り付けられるヘリウム冷却ステージモジュール
- システムは、フレキシブルトランスファーチューブストレージベッセル、上部接続ブラダーおよび弁、ガスフローコントローラー、ガスフローポンプ、およびデジタル温度コントローラーで構成
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