Ilion IIシステム

試料の断面、表面加工が出来、その加工面を低加速電圧で処理することにより、最適なSEM用および分析用の試料を作製することが出来ます。

メリット 研究の着目点 メディアライブラリ パブリケーション リソース トップに戻る
メリット: 
  • 真空ロードロックおよび液体窒素冷却ステージにより、ビームの影響を受けやすい試料で高速なワークフローを実現
  • デジタルイメージング機能を備えた光学顕微鏡など、加工処理をリアルタイムで観察。GatanのDigitalMicrograph®ソフトウェアで画像を保存
  • 10インチカラータッチスクリーンインターフェイスによる、Ilion™ IIの簡単操作。自動加速電圧可変機能(レシピ加工)により再現性のある結果
  • カソードルミネッセンスやEBSDなど、信号が表面付近で生成される分析技術に適した、ダメージのない試料表面及び断面の提供

Publications

Optics & Laser Technology
2016

de Pablos-Martin, A.; Benndorf, G.; Tismer, S.; Mittag, M.; Cismak, A.; Lorenz, M.; Grundmann, M.; Höche, T.

Journal of Physical Chemistry Letters
2014

Ng, A.; Poplawsky, J. D.; Li, C.; Pennycook, S. J.; Rosenthal, S. J.

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