3Dトモグラフィ取得ソフトウェア

TEMモード、STEMモード、またはEFTEMモードを使用した電子線トモグラフィ用連続傾斜像の取得をサポートしています。

メリット 研究の着目点 メディアライブラリ パブリケーション リソース トップに戻る
メリット: 
トラッキング
  • ライブトラッキングまたはステージキャリブレーション法による試料ドリフトおよびステージ移動補正
  • 自動追跡が困難なコントラストが非常に低い試料やステージの動作に問題がある場合に使用する手動オーバーライドモード
  • トラッキング結果のデータを使用することにより、その後の連続傾斜像取得で総電子線照射量を減らしたり、高倍率でのトラッキングを改善したりすることが可能
  • ドリフトが過度な場合のインテリジェントな警告機能
レポート生成
  • 連続傾斜像取得時に測定したトラッキングデータのグラフィック出力
  • 使用したステージキャリブレーション、または現在のホルダーのステージキャリブレーションデータのグラフィック出力
  • 連続傾斜像の取得中に適用されたトラッキングのログ
  • 連続傾斜像取得時の測定条件の要約
2D可視化
  • 取得した連続傾斜像から選択した個々の傾斜像を表示
  • 連続傾斜像を動画として再生し、動画ファイル形式にエクスポート
データアクセス
  • 連続傾斜像のデータ取得中に、取得したデータを一枚毎にファイルとして保存、またはメモリ上に一時保存、または両方に保存可能
  • 3Dデータは*.DM3形式またはその他の形式で保存することで、他の再構築パッケージや可視化パッケージにインポート可能
  • 強力なDigitalMicrograph®スクリプト言語を使用してデータにアクセス
互換性
  • コンピュータ制御の試料ステージを備えた各種電子顕微鏡との互換性があります。詳細については、下記の各観察モードを参照ください。

TEMトモグラフィ

TEMトモグラフィソフトウェアでは、対物レンズ、イメージシフトコイル、ビームシフトコイル、試料ステージなど、コンピュータ制御可能な要素を備えた電子顕微鏡を使用して、TEMモードでデータを自動収集できます。ドリフト補正は、対物レンズ、イメージシフトコイル、ビームシフトコイルによって実行されます。

  • すべてのGatanデジタルカメラをサポート
  • ビームチルトによるイメージシフト量を測定し、Z軸をトラッキング   

STEMトモグラフィ

STEMトモグラフィソフトウェアでは、コンデンサーレンズ、対物レンズ、試料ステージなど、コンピュータ制御可能な要素を備えた電子顕微鏡を使用して、STEMモードでデータを自動収集できます。電子顕微鏡には、DigiScanスキャンジェネレータ(DigiScan IまたはDigScan II)および互換STEM検出器が装備されている必要があります。 

  • 様々なDigiScan互換STEM検出器をサポート
  • 析出物、ナノワイヤ、キャリブレーション用グレーティング試料などに対して精度良くZ軸のトラッキングが動作することが確認済み。さらに1ナノメートル以下の精度も実現
  • サブピクセル精度のXおよびY軸ドリフト補正
  • 傾斜した試料へのフォーカス合わせのため、各傾斜像の取得時にはダイナミックフォーカスを適用
  • トラッキングとデータ取得のための撮影倍率を個別に設定可
  • STEM像の同時取得(明視野信号と高角環状暗視野信号など)が可能  

EFTEMトモグラフィ

ETEMトモグラフィソフトウェアでは、エネルギーフィルタを備えた電子顕微鏡からデータを収集できます。エネルギーフィルタは、Gatanイメージングフィルタか、Gatan CCDカメラを備えたJEOLまたはZEISSインコラム型フィルタのいずれでもかまいません。電子顕微鏡には、対物レンズ、イメージシフトコイル、ビームシフトコイル、試料ステージなど、コンピュータ制御可能な要素が装備されている必要があります。 

  • EFTEMトモグラフィが可能な唯一の市販ソフトウェア
  • エネルギーフィルタ(Gatanイメージングフィルタまたはインコラム型フィルタ)とGatanカメラを備えたTEMを使用してEFTEM連続傾斜像を取得
  • エネルギーロス像や、ゼロロス像またはアンフィルタ像で、X、Y、Z軸のドリフトを補正
  • フィルタを定期的にアライメントしエネルギードリフトを補正(Gatanイメージングフィルタでのみ利用可能)
  • ジャンプレシオ法(2ウインドウ法)、元素マップ(3ウインドウ法)、または厚さマッピングを完全サポート

リソース:

 

データシート

3Dトモグラフィ取得ソフトウェア

要件

製品 システム要件 推奨される構成
TEMトモグラフィ
  • DigitalMicrographソフトウェア
  • 任意のGatan CCDカメラ(GIFカメラを含む)
  • 動作可能な電子顕微鏡1
200 GB以上の空きハードディスク容量
EFTEMトモグラフィ
  • DigitalMicrographソフトウェア
  • GIFまたはサポートされているGatan CCDカメラを備えたインコラム型フィルタ2
  • 動作可能な電子顕微鏡1
200 GB以上の空きハードディスク容量
STEMトモグラフィ
  • DigitalMicrographソフトウェア
  • DigiScan IまたはIIシステム
  • 1つ以上のDigiScan互換STEM検出器3
200 GB以上の空きハードディスク容量
1 サポートされている電子顕微鏡には、最新のJEOL、FEI、ZEISS TEM/STEM顕微鏡が含まれます。顕微鏡には、コンピュータ制御の4軸ステージコントロールが装備されている必要があります。
2 サポートされているエネルギーフィルタには、Gatan CCDカメラを備えたすべてのGatanイメージングフィルタ、大部分のJEOLおよびZEISSインコラム型フィルタがあります。 
3 サポートされているDigiScan互換検出器には、805 BF/DF STEM検出器、806 HAADF検出器などがあります。 

関連製品

Gatan Microscopy Suiteソフトウェア
GIF Quantum®エネルギーフィルタ
Enfinium分光器
OneView®カメラ
K2® 直接検出カメラ
K2 ISカメラ
Orius® カメラ
UltraScan®カメラ
DigiScan IIシステム
高機能STEM検出器

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