Enfinium分光器

EELS測定用の強力な専用分光器

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メリット: 

Enfinium™分光器は、専用の分光器システムでGIF Quantum®エネルギーフィルタのテクノロジを提供します。設計を一新したGIF Quantumフィルタは、12極子ベースの高度な電子光学系と超高速CCDカメラシステムが組み合わされており、最大スループットでの電子エネルギー損失分光法(EELS)とエネルギーフィルタ透過型電子顕微鏡(EFTEM)の両データセットの取得を実現する最先端技術が搭載されたイメージングフィルタとなっています。

Enfinium分光器は、イメージングやエネルギーフィルタモードをシステムに追加する事無くGIF Quantumフィルタの高度なEELS機能のみを使用することが出来ます。EELSの基本機能を備えたモデル、または高機能のEELSシステムのいずれかを選択頂けます。  

  • 静電シャッターを使用することで、今までにない露光時間とダイナミックレンジでスペクトルを取得
  • 高速(1000スペクトル/秒)かつ照射電子線の効率的に利用によって実現される、走査透過型電子顕微鏡(STEM) EELSスペクトルイメージングによる詳細なマッピング
  • 3 mmの固定入射絞りを使用することで、多くのアプリケーションにおける操作を簡素化
  • 2.5および5 mmの入射絞りを使用することで、収差補正電子顕微鏡におけるSTEM EELSのデータ収集効率を向上
  • 60~300 kVまでの広い加速電圧と装置構成に対応
  • 単一スペクトルで広いエネルギー範囲から多くのエッジを取得することにより、定量計算の簡略化を実現
  • DualEELS™機能を使用した、正確かつ簡単なエネルギーシフトの測定と高度な定量化機能を採用し、新しいレベルのEELS分析を実現
  • ​12極子ベースの光学系を使用した、優れたエネルギー分解能を実現するスペクトル線形性の改善

Enfinium SE — EELSの基本機能を網羅し、簡単な操作とスペクトル取得速度を兼ね備えたEELSシステム。システムには3 mmの入射絞りを備え、基本構成では100スペクトル/秒の速度を実現します。

Enfinium ER分光器にGIF Quantum ERエネルギーフィルタの先端機能が組み込まれている高性能EELSシステム。2.5 mmおよび5 mmの入射絞りを有し、静電シャッター、およびUS1000XP/FTカメラシステムの高性能スペクトラム取得モードを標準装備しています。

Enfinium専用EELSシステム 

 

Enfinum SE

Enfinum ER

静電シャッター オプション  
1000スペクトル/秒 オプション  
3 mmの固定入射絞り  
2.5および5 mmの入射絞り  
60~300 kVの動作
2000 eVのEELS範囲  
DualEELS機能 オプション オプション
​12極子ベースの光学系
注記:システムの性能(TEMの性能を含む)は固有の機器構成によって異なります。リストされている機能および仕様には、オプションの装置やパッケージが含まれています。Enfiniumモデルによっては、すべての機能および仕様をサポートしていないものもあります。詳細については、各製品のデータシートを参照してください。仕様および機能は変更されることがあります。
 

Publications

Scientific Reports
2015

Ringe, E.; DeSantis, C. J.; Collins, S. M.; Duchamp, M.; Dunin-Borkowski, R. E.; Skrabalak, S. E.; Midgley, P. A.

Ultramicroscopy
2014

Forbes, B. D.; Houben, L.; Mayer, J.; Dunin-Borkowski, R. E.; Allen, L. J.

Radiation Physics and Chemistry
2014

Degueldre, C.; Alekseev, E.

リソース:

 

モデル976、977

データシート

Enfinium ERシステム
Enfinium SEシステム

アプリケーション

EELS.info
iPhone、iPad、およびiPod touch用EELSアプリ

DualEELSモードでの高エネルギー端を使用した原子レベルのEELSマッピング
III-V MOSFETデバイスの製造用の金属合金抵抗接点のDualEELSモードでの高速EELS構成分析
EELS:生物由来物質の調査用ツール
GIF Quantumを使用した、重金属AuおよびPdを含む触媒粒子からのEELSスペクトルの低損失領域とコア損失領域の高速同時取得
Gatan Microscopy Suiteソフトウェアの同時EELSおよびEDSを使用した高速STEMスペクトルイメージング
最近のスペクトルイメージングの進歩と、その逆格子空間の拡張に関するレビュー
EELSスペクトル内の重なり合う端を原子レベルで解決するためのMLLSフィッティングアプローチの使用

ポスター

Pd-Auベース触媒の高速STEM EELSスペクトルイメージング分析
最新世代のEELSスペクトロメータは効率に優れ、重元素から非常に詳細なEELSスペクトルを数ミリ秒で取得できるため、膨大な情報から組成マップを作成できます。

DualEELSモードでの高Z合金の高速構成分析
高コントラストで高SN比の高速原子EELS組成マップを高エネルギー端からいつでも取得できることを示しています。

DualEELSモードでの高エネルギー端を使用した原子レベルの高速EELSマッピング
高エネルギー端を使用した原子EELSマッピングが非常に効率的であることを示しています。高エネルギー端で高いS/B比が得られるため、データ抽出が簡素化されます。

構成

機能
(200 kVでの測定値)
Enfinium SE Enfinium ER
エネルギー分解能* (eV FWHM) 0.40 0.10
入射絞り径(mm) 3.0 2.5 / 5
エネルギーレンジ(eV) 1000 2000
スペクトル取得速度(1/秒) 100 >1000
高速スペクトル取得モード オプション
1 µs静電シャッター オプション
高機能BF/DF検出器 オプション オプション
*総システムエネルギー分解能のうちの分光計影響量。電子源または環境の影響は含みません。通常、最終的なシステム分解能はすべての影響の直角位相和になります。たとえば、0.8 eVのエネルギー分解能で環境ノイズがないショットキー電子銃のTEMシステムを例にとってみると、Enfinium SEシステムの期待値は(0.8*0.8 + 0.4*0.4)0.5 = 0.89 eVのシステムエネルギー分解能になります。

関連製品

Advanced AutoFilter®スイートソフトウェア
高機能BF/DF検出器
DualEELS
高機能STEM検出器
高速2 kVスペクトルオフセットモジュール、モデル963.U4
高速カメラおよびシャッター、モデル976.U1
高機能BF/DF検出器付きSTEMPack™、モデル963.U5
STEMPack高速スペクトルイメージングアップグレード、モデル777.U2
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