電気その場観察用ホルダー

温度とバイアスを同時に制御し試料の電気的特性を評価

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メリット: 

電気その場観察用ホルダー – DENSsolutions1との提携により提供

Lightning TEM用バイアスおよび加熱その場観察ホルダーを使用することで、制御可能な電気的および温度環境下における試料のリアルタイムな情報を得ることができます。Lightningシリーズ試料ホルダーで次世代のナノ電子材料とデバイスを研究することができます。

  • 昇温時における究極の試料安定性を実現
  • 試料の精密な温度制御をMEMSマイクロヒーターと真の四端子法の閉ループ制御システムを採用し実現
  • マルチ実験用Nano-Chipにより、1つのチップで複数の試料と形状寸法に対応可
  • 使いやすい特別なオプションのFIBスタブを使用することで試料の向きを簡単に調整し配置することが可能
モデル番号 最高
温度1 (°C)
試料ドリフト(nm/分、800 °C時) バイアス用回路、発熱体、温度制御 試料傾斜 最大電気フィードスルー
Lighting
(加熱および電気)

800 (加熱 + バイアス)
1300 (加熱のみ)

<0.5、加熱のみ

MEMS、4ポイントの閉ループ

α、β軸傾斜

4

 

Lightningモデル

Lightning D6+ – FEI Lightning D7+ – FEI Lightning D6+ – JEOL Lightning D9+ – JEOL

バイアスまたは加熱

バイアスと加熱

バイアスまたは加熱

バイアスと加熱

4ポイント接点 6ポイント接点 4ポイント接点 8ポイント接点
αおよびβ軸傾斜 αおよびβ軸傾斜 αおよびβ軸傾斜 αおよびβ軸傾斜

 

Lighting Nano-Chip

1DENSsolutionsとの販売提携により、米国、日本、カナダ、インドでのみ入手可能

リソース:

 

モデルLightning (1630)

データシート

Lightning series

アプリケーションメモ

半導体ナノワイヤの電気的性質のIn-situTEM特性

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