Solarus多機能プラズマクリーニングシステム

多機能プラズマクリーニングシステムによるTEMおよびSEM試料の炭化水素コンタミネーションの除去

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メリット: 

Solarusは、パフォーマンスの向上、簡素化された操作感、一貫したクリーニング結果が得られるように設計された、新しいコンセプトと最新のテクノロジーに基づく次世代プラズマシステムです。市販されているどのプラズマシステムとも大きく異なるこのシステムでは、透過型電子顕微鏡(TEM)および走査型電子顕微鏡(SEM)の試料の炭化水素コンタミネーションを除去するために効果的なクリーニングを行うことができます。

  • H2/O2ガスの化学作用を利用(特許出願中) — この独特な化学特性により、マイクログリッドカーボン膜を含むあらゆる試料に対して優れたクリーニング効果とスパッタ損傷の軽減がもたらされ、従来のAr/O2ガスレシピでクリーニングした場合よりも大幅に昇温を抑え低温で試料を維持することが可能
  • 対話形式のタッチスクリーンインターフェイスにより、事前プログラミング済みの最適化されかつ再現性のある処理条件の7つのレシピに簡単にアクセス出来ます
  • リアルタイムの高周波自動整合器および可変高周波電源(10~65 W)により、あらゆるクリーニング条件下で最適なレベルのプラズマ出力と低損失を確保
  • マスフローコントローラ(MFC)が精密なガス制御によってプラズマを長期間安定させ、最大3つの独立プロセスガスH2、O2、Arをサポート
  • 多機能チャンバは前面ポートを通じて2つのTEMホルダーを挿入可能で、最上部の開閉蓋を通じて複数のSEM試料をセット可能
  • 常時排気のターボドラッグポンプシステムを使用することで、真空排気(競合製品が3分にであるのに対して50秒)とリーク(競合製品が6分であるのに対して5秒)の高速化によって処理時間全体を短縮可能
  • 多言語サポートにより、英語、ドイツ語、フランス語、中国語、韓国語、日本語で操作手順を表示

Publications

Journal of Physical Chemistry C
2016

Qi, K.; Zasada, F.; Piskorz, W.; Indyka, P.; Gryboś, J.; Trochowski, M.; Buchalska, M.; Kobielusz, M.; Macyk, W.; Sojka, Z.

リソース:

 
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