少即是多 – 通过电子计数 EELS 减少样品辐照剂量、损伤和表征时间

获取高保真度的电子能量损失谱(EELS)一直是个难题。需要同时满足大能量范围(keV)、高能量分辨率(< eV)以及高动态范围(跨越若干数量级)的要求,这是一项重大挑战。传统上EELS 是在单个并行传感器上记录的。然而,常规探测器的动态范围有限,且在高能量分辨率下能量范围非常有限。可以通过快速连续获取两条谱线来改进这些问题,但代价是浪费施加在样品上的电子剂量(以及采集时间)。进一步扩展采集更多条谱线似乎是合乎逻辑的下一步。然而,这仅对最耐辐射的样品以及对采集时间不敏感的情况才可行。如果将此做法推至极限,我们就会回到序列 EELS 谱仪的时代,这种谱仪可以提供不错的谱线,但几乎没人真心愿意回到那个时代。