Solarus 高级等离子清洗系统

高级等离子清洗仪可有效除去 TEM 和 SEM 样品上的碳氢污染物。

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优点: 

Solarus 是新一代等离子系统,采用全新概念和最新技术设计而成,可提供有效、一致的清洗效果,而且容易操作。与市场上提供的任何等离子系统不同,它能提供高效的清洗,从而除去透射电子显微镜 (TEM) 和扫描电子显微镜 (SEM) 样品上的碳氢污染。

  • 独有的 H2/O2(氢气/氧气)气体化学配方(专利申请中)— 这个独特的化学配方具有出色的清洁效果,可以减少对样品(包括多孔碳膜)的溅射伤害,并且对样品的加热作用明显低于传统的 Ar/O2(氩气/氧气)配方。
  • 交互式触屏界面提供七种预编程的方案,均采用优化的流程参数,确保清洗结果的一致性
  • 实时射频自动匹配和可变射频电源(10 – 65 W)可在大多数清洁条件下确保最佳的等离子源
  • 流量控制器 (MFC) 提供准确的气体控制,以确保长期稳定的等离子,并且最多可以支持三种独立的气体:H2(氢气)、O2(氧气)和 Ar(氩气)
  • 多功能样品室可接受两个 TEM 样品杆,同时通过上面的盖板装载多个 SEM 样品
  • 涡轮分子泵系统可提高效率 — 抽气更快(50 秒,而竞争产品需要 3 分钟);排气更快(5 秒,而竞争产品需要 6 分钟)
  • 多语言支持,包括英语、德语、法语、中文、韩语和日语等语言的操作说明

Publications

Journal of Physical Chemistry C
2016

Qi, K.; Zasada, F.; Piskorz, W.; Indyka, P.; Gryboś, J.; Trochowski, M.; Buchalska, M.; Kobielusz, M.; Macyk, W.; Sojka, Z.

资源:

 

950 型

产品说明书

Solarus 高级等离子清洗系统

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