「DM Pluginによるひずみ解析」

格子ひずみは材料設計における重要な要素の1つです。特に近年は半導体デバイスの微細化に伴い高い空間分解能とひずみの精度の両立が求められています。また、品質管理の場では、ユーザビリティの高い解析ソフトが要求されています。

弊社（HREM Research）では、最先端の研究成果を導入し、Gatan社のDigitalMicrographに対する種々の機能拡張（プラグイン）を開発して参りました。本ウェビナーでは、その中で、歪み解析用のプラグインであるPPA、GPA、sMoire、HoloDarkについてご紹介させて頂きます。PPA (Peak-Pair Analysis)とGPA (Geometrical Phase Analysis)では結晶格子の直接観察による高い空間分解能を持つひずみ分布が得られます。