冷却ステージ
モデル C1000, CF302M
電気および電子材料等の低温観察や温度依存性の研究を目的としたヘリウムおよび液体窒素ステージ。
メリット
電子及びイオンビーム敏感な材料を高照射電流で安定観察及び分析
低温位相の研究が可能
特にカソードルミネッセンス(CL)のイメージングおよびスペクトル解析を強化
| モデル番号 | 基準温度 | クールダウン時間 | 最高動作温度 | チルト | 回転 | エレクトリカルフィードスルーオプションの追加 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| C1001 | -185 °C | 10分 | 50 °C | 45° | ±5° | √ | |
| C1002 | -185 °C | 10分 | 200 °C | 45° | ±5° | √ | |
| C1003 | -185 °C | 10分 | 400 °C | 45° | ±5° | √ | |
| CF302M | 8 K | 55分 | 140 K | ±5° | √ | ||
ステージC1001、C1002、C1003
- 取り付けおよび取り外しが簡単なため、標準的なSEMステージに搭載可能
- 窒素ガスによってステージを-185 °C以下まで冷却
- 効率的な熱設計によって、急速なクールダウンと安定した温度が実現
- 一体型ヒーターと温度センサーによって正確な制御が可能
- 外部液体窒素熱交換器によってLN2の沸騰による振動を排除
- 上限温度オプションの温度がさらに高くなり、より柔軟な実験が可能
液体ヘリウム冷却ステージ CF302M
- 低ドリフトおよび低振動用に特別に設計されており、液体ヘリウムの消費を最小限に抑制
- CF302Mは、既存のSEMステージに取り付けられるヘリウム冷却ステージモジュール
- システムは、フレキシブルトランスファーチューブストレージベッセル、上部接続ブラダーおよび弁、ガスフローコントローラー、ガスフローポンプ、およびデジタル温度コントローラーで構成
データシート
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