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Solarus II システム

モデル 955

TEM、SEM試料および試料ホルダーから炭化水素コンタミネーションを除去する次世代のプラズマツール

Solarus

メリット

試料表面の有機コンタミネーションを、安全にかつ効率的に再現性良く除去したい研究者にとってこのシステムは最適な装置です。

 

10 in touchscreen_monitor

ユーザーインターフェイスの改良

確実なクリーニングのために最適化されたレシピを採用。ベント、真空排気時の正しい操作を保証するガイド付き操作ワークフロー

Integrated holder bakeout and storage

冷却ホルダーの焼きだし機構と真空保管機能を一体化

設置スペースと運用コストを効率化

Low-power operation (2 W)

低出力での動作 (2 W)

デリケートな試料(例えば、マイクログリットなど)に対して優しくクリーニング。クライオ電子顕微鏡観察のためにカーボングリットの親水化処理にも使用可能

New system, same great performance

高性能を備えた新しいシステム

分析に影響を与えるTEM、およびSEM試料表面の炭化水素を除去

 

データシート

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