デュアルEDS検出器を用いた凹凸面の汚染物質の特性評価

装置

EDAX^® Octane Electデュアルシリコンドリフト検出器とEDAX APEX™ EDSソフトウェア

背景

EDSマッピングは、サンプル表面の汚染物質を評価するための迅速かつ簡単なアプローチです。しかし、表面が荒れていたり、割れていたりするサンプルのEDSマッピングは、影や凹凸の影響を受けるため、困難な場合があります。また、検出器側に大きく傾斜している表面や、検出器側とは反対側に傾斜している表面の場合は、さらに複雑になります。APEX 2.1のデュアル検出器機能は、異なる方位角を持つデュアルEDS検出器で同時にマッピングを収集し、2つのマッピングデータを統合することで、これらの影響を軽減することができます。