その場TEM観察を用いた MoS2 の電場誘起構造変化

使用装置

リアルタイムでの電子カウンティング処理、高速連続データ取得、広視野の観察能力を備えた低電子線照射量像観察を可能とするK3^® IS 直接検出型カメラ

測定の背景

結晶粒界や様々な欠陥は、MoS₂のような層構造を有する遷移金属ダイカルコゲナイドの電気的、光学的特性を左右します。しかしながら、これらの結晶粒界はデバイスの動作において選択的加熱や酸化サイトとしても働いてしまいます。これらの過程を物性と相関付ける上で、その場TEM観察のようなダイナミックな高分解能観察手法を用いることが理想的です。さらに最低限の照射電流密度を用いることで、照射電子線が観察結果に与える影響を抑えることが出来ます。