電子線タイコグラフィのためのK3 ISカメラ：SrTiO3 中の酸素のマッピング 

Gatan社使用装置

K3^® ISカメラは直接検出電子カウンティング、高速連続データ取得、低電子線照射量観察が可能です。 STEMx^® システムはeaSI™ テクノロジーを活用してSTEMのビームをK3 ISの高いフレームレートと同期させ、高いクオリティの4D STEMデータセットを高速で取得します。

研究の背景

4D STEMの最も有望なアプリケーションのひとつが電子線タイコグラフィです。電子線タイコグラフィは照射電子線を効率的に利用可能な手法であり、(古典的な絞り径により制限される分解能を超えた)高い空間分解能の像観察を可能とし、(従来の環状暗視野像観察とは対照的に)高いシグナルノイズ比とコントラストの線形性で軽元素と重元素の検出が実現されます。最近報告された電子線タイコグラフィを用いた研究結果においてはハイブリットピクセル型の検出器が最も一般的に使用されてきましたが、これは主に大きなピクセルサイズ、広いダイナミックレンジ、そして高いフレームレートを実現しているためです。ここでは、モノリシックアクティブピクセル型検出器のK3 ISカメラも同様に高いクオリティの電子線タイコグラフィの研究に使用出来ることを紹介します。