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低電子線照射量連続観察を用いた電子線ダメージの評価と定量化

Gatan社使用装置

リアルタイム電子カウンティング処理がもたらす低加速電圧の低電子線照射量観察と電子線回折実験を、Metro®  カメラがシンプルなユーザーインターフェイスを通じて実現します。

研究の背景

ゼオライトと金属有機構造体(MOF)は電子線照射によって容易にダメージを受けるナノ構造材料であり、透過型電子顕微鏡(TEM)観察を用いたキャラクタリゼーションが困難です。しかしながら、電子をひとつずつカウントすることが可能な高感度の直接検出型カメラの登場によって、これらの材料に対するダメージを最小化しながら長時間の観察が可能となるほど照射電子線量を十分に低く抑えることが可能となりました。それぞれのナノ構造中の欠陥や担持された金属、その他の構造的な特徴のキャラクタリゼーションの可能性が拡がります。