DigitalMicrographを用いたナノ結晶粒金薄膜の方位マッピング

Gatan社使用装置

ClearView^® カメラは最高1600フレーム毎秒で4D STEMデータの取得が可能であり、他のあらゆるシンチレータカメラと比較しても最も高速で動作するデジタルカメラです。STEMx^® システムはeaSI™テクノロジーを活用し、検出器のフレームレートを走査電子プローブと正確に同期させることで、DigitalMicrograph^®ソフトウェアでの高スループットの4D走査透過像観察(STEM)データの取得と処理を実現しています。このGatan社製カメラで取得した4D STEMデータに対して、回折図形の指数付けと方位マッピングを可能とするのが STEMx OIM です。

研究の背景

材料の強度やさまざまな物性の理解のために、結晶粒径、構造、欠陥密度を評価することは非常に重要です。結晶粒の構造の方位マップによる解析は、走査型電子顕微鏡(SEM)の電子線後方散乱回折(EBSD)の手法を用いて広く行われています。しかしながら、走査透過型電子顕微鏡(STEM)の優れた分解能は、ナノメートルサイズの粒径の材料の解析において有効です。この場合、4D STEMによる解析とそれに続くSTEMx OIMの方位マッピングがより適した手法となります。