EBSD測定時における高精度な定量分析

使用装置

EDAX^® Pegasus EDS – EBSD システム （EDAX APEX™ Advanced ソフトウェア）

背景

多くの工学材料では、機能特性と材料の組成や微細構造との関係を理解することが非常に重要です。そのため、走査型電子顕微鏡（SEM）によるエネルギー分散型X線分析（EDS）と電子線回折結晶方位解析（EBSD）は、必須の特性評価手法の一つとなっています。多相系材料からEDSとEBSDの信号を同時に収集し分析することは、解釈の曖昧さや誤りを排除し、データ収集と分析時間を1桁以上短縮するために望ましいことであると、長い間認識されてきました。しかし、EBSD分析の収集条件（試料が 70°に傾いている、ビーム電流が大きいなど）が、EDSによる定量分析の妨げになると考えられています。従来、EDSの定量分析は、検出器に到達する全てのX線を正確に計測し、試料内のX線自己吸収の影響を考慮できるように、低いX線計数率と0°傾斜の平滑な試料が必要とされてきました。このため、EBSD測定時は正確な定量値が得られず、試料から収集したデータを完全に理解することができません。