EBSD測定を成功させるマグネシウム合金の酸化被膜の除去

装置

Gatan PECS™ IIブロードアルゴンイオンシステムとEDAX Velocity™ Super 超高速動作型EBSD検出器、APEX™ 2.0ソフトウェア

背景

EBSDによる方位測定において有効なデータを収集するには、サンプルの実際の構造が歪まずに、それが表層まで続いていることが必要です。一般的なサンプルの表面処理は、機械研磨や電界研磨が利用されます。しかし、マグネシウムや亜鉛合金など、酸化しやすいサンプルでは、水分と接触するとすぐに酸化被膜が形成されます。研磨中や研磨後、輸送中や保管中に大気中の水蒸気に触れることで発生する場合もあります。酸化被膜は、EBSDパターンの効率的な測定を阻害するため、分析前に除去する必要があります。