EDSマッピングにおける試料の表面と厚さの影響

Gatan 社使用装置

EDAX^® Octane Elect Plus 検出器とAPEX™ ソフトウェアと PECS™ II ブロードビームミリング装置

背景

エネルギー分散型X線分析装置（EDS）のマッピング機能は、サンプルの組成変化を迅速かつ効率的に測定することができます。これにより、ピーク領域（ROI）の強度マップ、バックグラウンド除去したNet強度マップ、定量計算を実施した定量マップが得られます。表面が平らなバルク試料では、組成変化によるEDS信号の変化をスペクトル処理で補正し、直接解釈できるマッピング像を得ることができます。しかし、試料表面が粗い場合や、試料の導電性や厚さが均一ではない場合、X線の発生強度が実際と異なり、真の組成の微細構造を得られないことがあります。APEXソフトウェアによるEDSマッピングでは、CPS（Counts per Second）マップが自動的に収集され、これらのアーティファクトを補正することができます。