ウルトラワイドバンドギャップ半導体のスペクトル解析
使用装置
カソードルミネッセンス(CL)の様々な解析を実現する Monarc® Proシステム。初心者からエキスパートまで最高のクオリティのデータの取得を実現し研究を支援します。
背景
Al(Ga)N、Ga2O3、BN、ダイヤモンドといったウルトラワイドバンドギャップ材料 (UWBG) は、高出力、高周波デバイスや深紫外線波長域で動作するオプトエレクトロニクスデバイスにおいて大きなメリットがあります。さらに、多くのUWBG材料は、他の材料では考慮外である高温環境下や暴露されることにより損傷を受けるような過酷な環境での使用を可能とします。
製品化が可能なデバイスには、高品質で欠陥の少ない材料が求められます。しかしながら、UWBG (>3.4 eV)は広く用いられるレーザー波長域において透過してしまうことから、一般的にプロセス開発に用いられるフォトルミネッセンスを使用することが出来ません。従って、代わりとなるスペクトル解析の手法が求められています。