走査型電子顕微鏡(SEM)を用いた分光学的時間分解カソードルミネッセンスの研究

使用装置

Monarc^® Proは、カソードルミネッセンス（CL）発光の完全な解析を提供するシステムであり、初心者から熟練者まで、すべてのユーザーが最高
品質のデータを取得することができます。

背景

半導体材料、蛍光体、地質試料からの発光の経時変化は、発光メカニズムの重要な特性を明らかにすることができます。発光の減衰定数(τ)は測定可能であり、通常、発光波長の関数として変化します。τを測定することで、応力や歪みに関連した再結合ダイナミクス、移動度、拡散長を明らかにすることができます。電子顕微鏡では、超高速のオン・オフ遷移を伴うパルス電子ビームが必要なため、τを調べることは実験的に困難です。解決策として、超高速ビームブランキングや光電子誘導電子パルスが考えられます。しかし、これらの方法は、非常に限られた特殊な顕微鏡にしか適していません。