原子分解能STEM-EELSスペクトルイメージングにおける試料ダメージのモニタリングと低減のための手法

Gatan社使用装置

GIF Continuum^® ER with Stela^®*エネルギーフィルタ、DigiScan™ 3とeaSI™ スペクトルイメージングテクノロジー

研究の背景

最新の走査透過型電子顕微鏡(STEM)では、毎秒10７個以上もの電子を原子スケールで試料上に集束させることが可能です。その結果として、試料へのダメージを抑えその状態をモニタリングする必要があることを常に意識する必要があります。クライオ電子顕微鏡の分野で用いられている手法は、照射電子線量を多くのサブフレームに分割、あるいは“分散”させ、ダメージの影響をモニタリング出来るようにしています。この“分割露光”は、STEMとエネルギー損失分光法(EELS)を組み合わせたデータにも同様に適用することが可能であり、多くの試料における電子線照射の影響を抑え、同時に把握することが出来ます。