Ni-W合金中析出物の分布と濃度を明らかにする仮想 (BF/DF) 像観察

使用装置

リアルタイムでの電子カウンティング処理、高速連続データ取得、広視野の観察能力を備えた低電子線照射量像観察を可能とするK3^® ISカメラ、および4D STEM測定において、走査電子ビームとカメラフレームレートを正確に同期し高速データ取得をデータ損失無しに実現するSTEMx^® システム。

測定の背景

Ni-W基合金は、その優れた耐腐食性と機械的特性、そして 高い密度から原子力材料や防衛分野における応用が期待されています。これらの合金は、異なる組成の様々な析出相を加えることで狙った特性に制御されます。これまでは、暗視野(DF)TEM像観察がTEM薄膜試料中の析出物の観察に使用されてきました。もし逆空間中の広い範囲に興味がある場合には、対物絞りを都度手動で移動させ像を取得する必要があります。これは電子顕微鏡観察においては労力と時間を要する作業です。