APEX FSQにより定常的に標準試料を使用したEDS定量法を確立する

最新のAPEXソフトウェアは、EDAXエネルギー分散型X線分析（EDS）の定量化において幅広い柔軟性を実現します。eZAFモデルはマトリクス効果を考慮しますが、一方PeBaZAFはX線ピークとバックグラウンド強度の比を使用することで凹凸の有る試料に有効です。 スタンダードレス定量は、使いやすく高速ですぐに結果が得られ、分析実行するための最小限の要件を利用することから、最も広く使われています。しかし方程式が十分に定義されていないため、元素の重量分率を規格化する必要があります。 このウェビナーでは、APEXがリファレンス試料をどのように導入しているかを実演します。これは、単一元素の標準試料の短時間測定して、規格化されていない結果をもたらす未知の物理パラメータを排除するために、固有のスケーリング値を決定するものです。 標準試料を測定する際、関連するリファレンス値がスペクトルにインプットされるため、未知試料測定との差異を考慮することができます。これにより、定量化手順の複雑さが大幅に軽減され、データベースの作成と利用が可能になります。標準試料の選択には、実装されたアルゴリズムが利用できます。