材料の最適なX線特性評価のためにMicro-XRFとSEM-EDSを相関させる方法

微小部蛍光X線分析装置（Micro-XRF）は、ステージ移動させて視野探しを行い、マイクロスポットX線を照射する、従来のXRFの利点を有する非破壊分析装置です。試料の前処理やコーティングは不要で、試料の形状や高さは多少不規則でも問題ありません。この手法は、走査型電子顕微鏡（SEM）のエネルギー分散型X線分析装置（EDS）よりも、検出限界を改善し、より深い領域の分析が可能です。 SEM-EDSは、軽元素感度が高く、より細かい領域の正確な分析に適しています。どちらの手法でも、スペクトル、ラインスキャン、およびマッピング収集が可能です。このウェビナーでは、SEM-EDSとベンチトップMicro-XRF分析の相対的な利点を確認し、材料の最適なX線特性評価のために2つの手法を一緒に使用する方法を提案します。