OIM解析におけるSpherical Index法と実空間refinementを用いたEBSD 指数付け課題の克服

従来、電子線回折結晶方位解析（EBSD）では、パターンからはHough変換により取り出したバンドについて、3バンド法を用いてOIM Analysis™で指数付けされてきました。この方法は堅牢であることが証明されていますが、EBSDパターンが不鮮明な試料では問題が発生することがあります。また、良好のパターンであっても、従来のアプローチでは角度分解能に限界があり、擬似対称性や困難な相の違いの問題を解決することが困難でした。Dictionary indexingは弱いパターンの指数付けを改善することが期待されています。OIM Analysis V9では V8と比較してDictionary indexingの機能が劇的に向上しています。(1)実際のデータを球体に反映させ、動的にシミュレーションされた回折球と実測パターンの相互相関をとる（Spherical indexing）、(2) 局所的にノンリニアで最適なDictionary indexingによる結晶方位のrefinement(実空間refinement)、この２つの鍵となる機能がV9に実装されています。この2つの主要開発が V9 に実装されています。このウェビナーでは、これらの新しい開発について簡単に説明した後、大きく変形した試料、表面が粗い試料、回折パターンが不鮮明な試料、TKD実験、判別が困難な相、疑似対称性を示す試料、角度分解能が重要である実験など、従来のHough変換の指数付けに特定の課題を引き起こすいくつかの試料を使用して、これらの技術の適用事例を示します。OIM分析におけるこれらの新しいツールの利点と限界について解説します。