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Spherical Index法によるEBSDの進化

AMETEK/EDAX社にて開発されたEBSDの解析ソフト OIM Analysis9は、シミュレーションパターンを用いた高精度指数付けソフトウェアがオプションとして装備されています。 本手法は角度空間上でシミュレーションパターンと実験パターンを比較することを行うことで、効率的に指数付けを行うことができ、1秒間に1万点以上の指数付けが可能になっております。 従来のHough変換による指数付け法に比べ、ノイズの多いパターンの指数付けに強く、高い角度分解能の向上や、高度な相分離が可能になるという優れた特徴があります。 本セミナーでは、Spherical Indexの原理と従来の指数付け法との違い、実際の解析事例を中心に紹介させていただきます。