半導体デバイスの正確な元素マッピング—‘重複’ピークの分離

使用装置

EDAX^® Octane Elite EDS検出器とAPEX™ EDSソフトウェア

背景

エネルギー分散型X線分析装置 (EDS) は、エレクトロニクス産業の研究開発および品質管理において重要なツールであり、集積回路の個々のデバイス内の誘電体層および電気接点の分布を可視化するために、元素マッピングが使用されます。しかし、電子デバイスやその電気的接続に使用される材料の多くは、従来、EDSによるマッピングが困難と考えられてきました。これは、Si K、Ta M、W M（それぞれ1.740、1.709、1.774 keV）の特性X線ピークをEDS検出器でピーク分離できないためです。