GIF Continuum K3で取得したTb3Sc2Al3O12 STEM EELSマッピングにおける分解能~1 Åの実現
使用装置
研究の背景
収差補正STEMと組み合わせた電子エネルギー損失分光法(EELS)のスペクトルイメージング(SI)は、オングストロームスケールでの構造変化と化学変化の同時キャラクタリゼーションを可能とします。しかしながら、長い取得時間、試料ドリフト、電子線照射に起因する試料ダメージによって、環状暗視野(ADF)STEM像観察と比較して原子分解能EELS SIは取得が困難です。
直接検出型電子カウンティングカメラは、その優れた感度によってEELSスペクトルのイオン化エッジの検出限界を向上します。そのため総照射電子線量を大きく抑えながらSIデータの取得を実現し、さらに高い空間分解能でのデータ取得に必要な取得時間を短縮します。DigitalMicrograph® ソフトウェアを用いたマルチパスSIデータ取得において、K3カメラの速いスペクトルの取得速度と組み合わせることでデータ取得を複数のパスに分散し、像の歪みを避けるのに十分な頻度でドリフト補正を行うことが可能となります。 更にK3カメラの単電子感度によって、ミリ秒以下のドウェルタイムにおいても読み出しノイズがスペクトルのシグナルノイズ比(S/N比)を悪化させるのを防ぎます。