EDSとEELSの同時取得による複数元素の完全な組成分析

Gatan社使用装置

eaSI™ は高度なSTEM測定のための最も効率的で効果的なワークフローを提供するGatan独自のテクノロジーです。eaSIは、EDAX^® Elite T Super (検出効率を最大化しDigitalMicrograph^® ソフトウェアとの完全な統合によって軽元素の分析能力を最適化するEDAXのElite T Super検出器)とGIF Continuum^® システム (高いクオリティのEELSデータのための卓越した感度と検出効率を実現)を活用しています。

研究の背景

3D NANDメモリのような複雑なアーキテクチャには、その構造を確認し故障原因を特定するために詳細な解析が求められます。元素マッピング、定量分析、化学状態の決定、それら全てが完全な分析を行うために必要です。eaSIテクノロジーによって、エネルギー分散型X線分析法(EDS)とエネルギー損失分光法(EELS)のスペクトラムをSTEM観察時に組み合わせ、そして同期することが可能となり、相互に補い合う情報を得ることが出来ます。高エネルギー分解能のEELSデータはその微細構造の解析を通じて化学状態を決定することが可能です。しかしながら、要求されるエネルギー分解能が取得可能なエネルギー範囲と検出可能な元素のエッジを制限する場合もあります。この場合、EDSと同時取得を行うことによってEELSのエネルギー範囲外の元素から得られるスペクトラムをカバーし完全な解析が実現されます。