APEX ソフトウェアによる介在物や微量元素の高速検出

使用装置

EDAX^® APEX™ EDSソフトウェアとEDAX Octane Elite Super EDS 検出器

背景

エネルギー分散X線分析 (EDS) によるマイクロアナリシスの一般的な目標は、試料の含有元素を明らかにすることです。 多くの場合、介在物の組成は分析前にはわからず、分析領域のごく一部にしか、介在物は存在しません。その結果、介在物のX線強度が比較的少ないため、経験豊富なマイクロアナリストにとっても、従来のEDSマッピングから介在物を発見するのは困難な場合があります。EDSマッピング収集中、任意の領域の抽出スペクトルが積算表示され、試料に存在する元素を同定し、それらの元素マップを表示します。これは主成分元素と相を識別する強力な手段ですが、X線信号全体にわずかしか寄与しない介在物のX線強度はわかりません。しかし、APEX EDSソフトウェアを使用すると、未知の元素であっても介在物を迅速に特定できます。