Elite T Super検出器を用いたDigitalMicrographソフトウェアのライブEDSマッピング機能

Gatan社製使用装置

Gatan社のeaSI™ は、最先端のSTEMの測定に対して最も効率的で効果的なワークフローを提供する独自の技術です。eaSIは 収集効率を最大化するための EDAX^® Elite T Super検出器 (EDAX EDS Powered by Gatan)と、最短時間で結果を得るためのワークフローベースのインターフェイスを提供するDigitalMicrograph^®  ソフトウェアの能力をさらに高めます。

研究の背景

3D NANDメモリのような複雑な組成と構造を有する試料に対して、その構造を確認し故障の原因を同定するために詳細なキャラクタリゼーションが求められています。EDSによる元素マッピングは、複雑な製造プロセスを経て製造された半導体試料を解析する上で非常に適した手法です。DigitalMicrographソフトウェアを用いたEDSデータ取得中に元素マップの測定結果を表示可能とすることで、eaSIはEDSデータ取得のワークフローを改善することが出来ます。結果として、選択した取得条件が適切であるか、EDSデータのシグナルノイズ比が適切か、そしてデータ取得を終了するのに十分な信号がマップデータに得られるのはいつなのかリアルタイムで確認することが出来ます。