良好なEBSD測定を可能とする多相アルミニウム合金表面の最適化

使用装置

社製PECS™ II および EDAX^® Octane Elect、Velocity™ Super、APEX™ ソフトウェアから構成されるEDAX Pegasus分析システム

背景

有効なEBSD方位測定結果を得るためには、試料の真の構造が歪み無く最表面に達していなければなりません。そのため、試料作製時のあらゆるコンタミネーションやダメージは最小化されている必要があります。アルミニウムのような柔らかい材料では、真の微細構造を覆い隠してしまう薄い歪んだ最表層が導入されてしまうこと無しに試料を機械研磨によって準備することが極めて困難です。特に研磨レートの異なる第二相が存在する場合には、全ての相を同時に適した表面状態にすることには高いハードルがあります。ブロードビームイオンミリングによる研磨によって、機械的な接触による追加ダメージの影響無く試料表面全体から変質層を除去することが可能です。