EBSDにおけるパターンサイズとノイズリファインメント感度の影響

使用装置

EDAX^® OIM Analysis™ ソフトウェアとEDAX OIM Matrix™

背景

電子線回折結晶方位解析(EBSD)の登場以来、EBSDによる方位測定の精度と正確さは注目されてきました [1,2]。 EDAXの研究者は、EBSD技術の自動化後も方位精度の探求を続けています[3,4]。 EBSD の方位測定をリファインメントすることで、結果が劇的に改善される可能性があります。EDAXでは、Singh、Ram、De Graef [5]とPang、Larsen、Schuh [6]によって提案された方法を本質的にハイブリッドしたリファインメント法を使用しています。OIM Analysis 9では、Spherical Indexingの使用と球面調和関数によるリファインメントによって、結果がさらに改善されました。