Spherical indexを用いたEBSDによる炭化ケイ素多形の特性評価
December 11, 2025
EDAX OIM Matrixは、EBSDのインデキシング性能および方位精度を向上させるためのオプションソフトウェアモジュールです。

EDAX® OIM Matrix™ソフトウェアは、動力学的回折理論に基づいてパターンをシミュレートすることで、電子線回折結晶方位解析(EBSD)を向上させます。EDAX OIM Analysis™のこのオプションモジュールは、試料内の電子の相互作用挙動をより正確に記述し、従来の動力学的回折理論のアプローチよりも現実的なパターンシミュレーションを行います。これらのシミュレーションされたパターンは、実際に収集されたEBSDパターンとより簡単かつ正確に比較することができ、指数付け性能と方位精度を向上させることができます。
従来のHough変換における指数付けと比較して指数付け性能が向上
再指数付け >10,000 pps以上に高速化
分解能0.01°以下の精度を実現
動力学的回折を用いてEBSDパターンの詳細を正確にシミュレートし、難易度の高い試料からのデータ取得を最大化します。
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