EBSDと定量反射電子像を用いたチタン合金中のチタン水素化合物の同定

使用装置

EDAX^® Velocity™ Ultra検出器、EDAX OIM アナリシスソフトウェアとCipher^®

背景

水素と水素化物の相同定は、従来のマイクロアナリシスでは困難な場合がある。水素はその原子構造上、電子やX線を照射しても特性X線を発生しない。そのため、エネルギー分散型分光法（EDS）や波長分散型分光法（WDS）では、水素は検出できない。電子線回折結晶方位解析法（EBSD）は、潜在的な水素化物相の結晶構造を決定することはできるが、水素の存在を確認したり、類似した結晶構造を持つ他の相を除外したりすることはできない。チタン合金では、水素と水素化物の相は水素脆化と水素化物誘起割れといった問題につながる可能性がある。このため、チタン合金内の水素と水素化物の存在と位置を確実に特定できることが重要である。チタン合金の微細構造に関する課題に対処するため、我々は定量反射電子像(qBSE)を使用し、強度差組成決定法による組成を用いて水素の存在を判定するCipherシステムを開発した。これらの結果はEBSDの結果を用いて実証される。