CuコーティングしたポーラスZn合金のダメージフリー加工

装置

PECS™ IIブロードアルゴンイオンシステムとEDAX^® Hikari Super高速動作型EBSD検出器、EDAX APEX™ソフトウェア

背景

基材の保護や強化のために金属やセラミックのコーティングが適用されます。このような材料のEBSDによる断面の構造解析は、基材とコーティングの界面が平滑であり、両方の相の構造が歪んでおらず、表面まで連続していることが求められます。
 

ポーラスな材料は、結晶粒の抜け落ちや砥粒が気孔に目詰まりするリスクが高く、その後の研磨ステップで傷の原因となるため、試料調整が特に困難です。