Ilion II システムを使用したAl/Mg バルク試料のEBSD用試料調製

使用装置

Ilion^® II システム、 EDAX Velocity™ EBSD システム と EDAX Clarity™ EBSD システム

背景

電子線回折結晶方位解析（EBSD）の測定を成功させるためには、より良い試料調製が欠かせません。一般的に、金属試料は、機械的な研削と研磨（機械研磨）、それに続く振動研磨による最終仕上げから成る従来の方法で調製することができます。しかし、マグネシウムやアルミニウムは化学反応しやすいため、この方法では望ましい結果を得ることが困難な場合があります。これらの金属は、最初に研削と機械研磨を行った後、電解研磨で仕上げることもできますが、適切な薬液を選択する必要があり、操作も複雑になります。今回の測定では、最終的な最終工程に「Ilion II システム」を使用しました。このイオンミリング装置はプロセスが比較的簡単で、EBSDの結果を容易に得ることができました。