SEMにおける効率的な微量分析 

測定装置

DigitalMicrograph^® は、Monarc^® 検出器とEDAX^® Octane Elite EDSシステムを統合し、カソードルミネッセンス (CL) と X線信号を同時に収集します。

背景

ペクトルにより、元素の原子構造から生じる特性 X 線に基づいて試料の組成が明らかになります。一方、CL では、光学分光法を利用して、結晶構造と微量元素または欠陥の存在に起因する光学的および電子的特性が明らかになります。多くの場合、完全な分析には、EDSとCLの両方の技術を使用した特性評価が必要です。例えば、多くの鉱物、宝石、文化遺産では、CL信号により、EDSの感度レベルをはるかに下回る濃度で特定の微量元素の存在やその分布が明らかになります。