ビームセンシティブな試料におけるEBSDの進化 : ノイズからの洞察

電子後方散乱回折（EBSD）は、ナノスケールにおける結晶方位や相分布など、試 料の微細構造に関する詳細な情報を明らかにする強力な手法です。高い空間分解 能と堅牢性を備えたEBSDは、鉱物学・固体化学などの分野で広く利用されてい ます。 

しかし、他の手法と同様に、EBSDにも限界があります。強い信号を必要とする ため、EBSDでは高い電子ビーム照射量が必要となり、すべての試料が耐えられ るわけではありません。そのため、太陽電池用途の有望な材料である有機ペロブ スカイトなどのビームセンシティブな試料にEBSDを適用することは困難です。 

このウェビナーでは、ハイブリッドピクセル検出器を搭載した EDAX^® Clarity™ シ ステムを使用してこれらの制限を克服し、ペロブスカイトやその他のビームセン シティブな試料に対する低照射電流EBSD を可能にする戦略を紹介し、この高感 度システムを EDAX OIM Analysis™のSpherical indexingと組み合わせることで得られる洞察を示します。