STEMPackスペクトルイメージング

走査モードが搭載されている透過型電子顕微鏡において、試料から詳細な分析データを取得するための効果的な手法を提供。  

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メリット: 



STEMPack™システムは、走査モードが搭載されている電子顕微鏡において、試料から詳細な分析データを取得するための効果的な方法を提供します。走査モードで多様なデータを取得することで、走査した画像またはラインプロファイル内の正確な位置と関連付けた豊富な情報を取得できます。この方法は、スペクトルイメージング(SI)として知られる手法の基盤となるものです。

スペクトルイメージングは指定された試料上の領域から、完全自動化されたプロセスで最大限の情報を収集します。STEMPackシステムは、電子エネルギー損失分光法(EELS)、エネルギー分散型X線分析法(EDS)、カソードルミネッセンス放出(CL)、吸収/誘導電流(EBAC/EBIC)、電子回折など、さまざまな検出器からのデータの取得をサポートします。それにより取得されたスペクトルデータを強力な処理と視覚化手法で分析することで、試料固有の詳細な情報が明らかになります。詳細なスペクトル情報と高い空間分解能を兼ね備えていることは電子顕微鏡法の最も強力な要素であり、この能力はSTEMPackシステムで実感できます。

  • 機能豊富な取得オプションでデータの柔軟性とアーティファクトの除去を最大限に高める
  • 1つのアプリケーションで、単一スペクトルの場合と同じように高密度のデータセットを簡単に分析でき、さらに様々な手法のデータと結果を相互に直接参照できる
  • 自由に設定可能な取得条件で、必要な分析範囲と分析領域を指定する
  • 電子顕微鏡で生成されたほぼすべての信号をスペクトルイメージの一部として同時に取得する
  • ハードウェアを用いた直接通信を行うことで、詳細なマッピングを高速でかつ照射電子線を無駄なく利用し取得する
  • 初心者でも経験豊富な専門家でも、簡単だが柔軟性の高いユーザーインターフェイスで優れた結果を得ることができる

Publications

Nature Communications
2015

Shukla, A. K.; Ramasse, Q. M.; Ophus, C.; Duncan, H.; Hage, F.; Chen, G.

Catalysis Science & Technology
2016

Cats, K. H.; Andrews, J. C.; Stéphan, O.; March, K.; Karunakaran, C.; Meirer, F.; de Groot, F. M. F.; Weckhuysen, B. M.

Microscopy Today
2015

Longo, P.; Thomas, P. J.; Aitouchen, A.; Rice, P.; Topuria, T.; Twesten, R. D.

リソース:

 

モデル777

データシート

STEMPack高速EDS取得、モデル777.U3
STEMPack高速スペクトルイメージングアップグレード、モデル777.U2

アプリケーション

Gatan Microscopy Suiteソフトウェアの同時EELSおよびEDSを使用した高速STEMスペクトルイメージング
同時STEM EDSおよびEELS/ELNESにより強化された相同定

ポスター

Pd-Auベース触媒の高速STEM EELSスペクトルイメージング分析
最新世代のEELSスペクトロメータは効率に優れ、重元素から非常に詳細なEELSスペクトルを数ミリ秒で取得できるため、膨大な情報から組成マップを作成できます。

EELSを使用した生物由来物質の定量的調査
EELSは、生物試料から組成情報を取得できる優れたツールであることが実証されています。組成に加え、EELSは、化学結合性やさまざまな酸化状態を解明する化学的な知見ももたらします。

DualEELSモードでの高Z合金の高速組成分析
高コントラストで高SN比の高速原子EELS組成マップを高エネルギー端からいつでも取得できることを示しています。

DualEELSモードで高エネルギー端を使用した高速原子レベルEELSマッピング分析
高エネルギー端を使用した原子EELSマッピングが非常に効率的であることを示しています。高エネルギー端で高いS/B比が得られるため、データ抽出が簡素化されます。

III-V MOSFET高k誘電体ゲートスタックの界面における原子分解EELS分析
EELS SIが高k MOSFET素子のゲートの元素分布を原子列レベルで明らかにできることを示しています。

構成

STEMPackスペクトルイメージングプラットフォーム、モデル777.U1 
STEMPackスペクトルイメージングプラットフォーム、高機能BF/DF検出器付き、モデル963.U5
STEMPack高速スペクトルイメージングアップグレード、モデル777.U2
STEMPack高速EDS取得アップグレード、モデル777.U3
EDS取得スイート、モデル707.10
回折イメージングスイート、モデル703.50 
スペクトル画像ステージマッピング、モデル703.70
カソードルミネッセンススペクトルイメージングスイート、モデルCLSI

システムの構成、要件、および制限があります。詳細については、Gatanの担当者にお問い合わせください。

関連製品

GIF Continuum および Continuum S
Gatan Microscopy Suite®ソフトウェア
高機能STEM検出器
Monarc CL 検出器
Vulcanカソードルミネッセンス検出器

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