SEM試料作製
PECS II System PECS IIシステム

SEMのイメージングおよび分析技術のための試料の研磨およびコーティング用に設計されたブロードアルゴンイオンビームシステム。

Ilion II System Ilion IIシステム

試料の断面、表面加工が出来、その加工面を低加速電圧で処理することにより、最適なSEM用および分析用の試料を作製することが出来ます。

Solarus II Plasma Cleaner Solarus II システム

TEM、SEM試料および試料ホルダーから炭化水素コンタミネーションを除去する次世代のプラズマツール