
Energy filtered 4D STEMを用いた半導体中の短距離秩序モチーフの解明
December 1, 2025
EELS、EFTEM、そしてエネルギーフィルタ4D STEMのあらゆるアプリケーションに対して電子カウンティング処理を実現

GIF Continuum® K3® シリーズは、最高のエネルギー損失分光法 (EELS) とエネルギーフィルタTEM (EFTEM) のデータを得るために革新的な K3 直接検出型電子カウンティング検出器を採用しました。DigitalMicrograph® と AutoFilter® プラットフォームによって、GIF Continuum K3 は最新の測定に要求される性能と自由度を犠牲にすることなく高い操作性を実現しています。さらにK3をオプションのシンチレータ検出器、あるいは Stela® ハイブリットピクセルカメラと組み合わせることによって、様々なアプリケーションに対応する最高のシステムが実現します。
低電子線照射条件での像観察と電子カウンティングEELSモードによるスペクトル取得に理想的なシステム
Stelaカメラによる低加速電圧での電子カウンティング機能
DigitalMicrographへの完全なインテグレーションによって期待される高い生産性
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