多相CoRe合金の界面の解析

装置

PECS™ IIブロードアルゴンイオンシステムとEDAX^® Velocity™ Super超高速動作型EBSD検出器、APEX™ソフトウェア

背景

相の関係や結晶粒の方位差を調べるには、結晶粒界面近傍の方位を正確に測定する必要があります。従来の機械研磨や電解研磨によるEBSD試料調製では、硬度や研磨抵抗の異なる相間の境界に段差が生じることがあります。このような凹凸は、傾斜するEBSD試料では影となり、正確な粒界情報を得ることが制限されます。低入射角ブロードビームイオンミリングは、このような凹凸効果を軽減できます。ミリング後の試料表面は、粒界にまたがる滑らかな連続表面を有するわずかにうねりのある状態になり、粒界の特性評価に適しています。