EFTEM

エネルギーフィルタ透過型電子顕微鏡法(EFTEM)は、像質を改善し、像中の元素と化学結合のマッピングを行い定量化するイメージング手法です。

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概要: 

エネルギーフィルタ透過型電子顕微鏡法(EFTEM)は、エネルギー損失スペクトルの特性を活用することで、画像のコントラストを強化し、色収差の影響を排除し、独自のコントラスト効果をもたらすイメージング手法です。主な用途は次のとおりです。

  • コントラスト強化 – バックグラウンドのぼやけを生じる非弾性散乱電子を除去し、像および回折パターンのコントラストを高める
    • ゼロロスフィルタリング、エネルギーロス最大強度イメージング、コントラスト調整、プレカーボン・イメージングなど
  • マッピング – 非弾性散乱電子で結像することで、ナノメートルレベルの解像度で元素/化学マップを作成する
    • 高解像度のイメージングが可能なツーウィンドウ法およびスリーウィンドウ法の元素マッピング/ジャンプレシオ・イメージング、化学結合マッピングなど
  • 分析 – TEM試料の化学分析のための、電子エネルギー損失スペクトル(およびマップ)の取得および定量化

EFTEMの原理は、極薄試料に高エネルギー電子ビームを照射した際の電子の振舞いに基づいています。ほとんどの電子は遮られることなく試料を通過しますが、一部の電子は試料と相互作用し、弾性または非弾性散乱を生じます。非弾性散乱により、エネルギーの損失と運動量の変化が生じ、内殻励起の場合、試料内の元素の特性を示します。

EELSに関するより詳細な情報については、EELS.info を参照ください。

リソース:

 

アプリケーション

EELS.info

DualEELS™モードで高エネルギー端を使用した原子レベルEELSマッピング
III-V MOSFET素子製造の金属合金抵抗接点のDualEELSモードでの高速EELS組成分析
EELS:生物由来物質の調査用ツール
GIF Quantum®システムを使用した、重金属AuおよびPdを含む触媒粒子からのEELSスペクトルの低損失領域とコア損失領域の高速同時取得
Gatan Microscopy Suite®ソフトウェアの同時EELSおよびEDSを使用した高速STEMスペクトルイメージング
最近のスペクトルイメージングの進歩と、その逆格子空間の拡張に関するレビュー
EELSスペクトル内の重なり合う端を原子レベルで解像するためのMLLSフィッティングアプローチの使用

ポスター

Pd-Auベース触媒の高速STEM EELSスペクトルイメージング分析
最新世代のEELSスペクトロメータは効率に優れ、重元素から非常に詳細なEELSスペクトルを数ミリ秒で取得できるため、膨大な情報から組成マップを作成できます。

EELSを使用した生物由来物質の定量的調査
EELSは、生物試料から組成情報を取得できる優れたツールであることが実証されています。組成に加え、EELSは、化学結合性やさまざまな酸化状態を解明する化学的な知見ももたらします。

DualEELSモードでの高Z合金の高速組成分析
高コントラストで高SN比の高速原子EELS組成マップを高エネルギー端からいつでも取得できることを示しています。

DualEELSモードで高エネルギー端を使用した高速原子レベルEELSマッピング分析
高エネルギー端を使用した原子EELSマッピングが非常に効率的であることを示しています。高エネルギー端で高いS/B比が得られるため、データ抽出が簡素化されます。

III-V MOSFET高k誘電体ゲートスタックの界面における原子分解EELS分析
EELS SIが高k MOSFET素子のゲートの元素分布を原子列レベルで明らかにできることを示しています。

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