微束X射线荧光（micro-XRF）是一种非破坏性分析技术，可对各种材料进行空间分辨的元素分析。通过将X射线束聚焦到一个小的点上，微束XRF能够实现高分辨率的元素成像和定量分析，使其非常适用于材料科学、法医学、地质学、电子学以及文化遗产等领域的应用。
什么是微束X射线荧光光谱仪 (micro-XRF)? 微束XRF的优势 微束XRF的工作流程
什么是微束XRF?
微束X射线荧光（Micro-XRF）显微分析的工作原理是将聚焦的X射线束照射到样品上，从而引发样品中具有元素发射特征的次级（荧光）X射线。然后，这些X射线被检测并分析，以确定样品的元素组成。
与传统的X射线荧光（XRF）不同，微束X射线荧光（micro-XRF）使用多毛细管光学系统或准直器将光束聚焦到一个小点，通常在10 – 50微米的范围内，从而能够进行局部分析和高分辨率元素成像。这使其在处理非均质或分层样品时尤其有用。
微束X射线荧光（Micro-XRF）系统通常包括用于扫描的电动样品台、高灵敏度的先进探测器，以及用于生成元素分布图和定量数据的软件。
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微束XRF的优势
微束X射线荧光（Micro-XRF）结合了传统X射线荧光（XRF）的优势与空间分辨能力，使得对微小特征、夹杂物或分层结构进行详细分析成为可能。它在贵重或敏感样品的无损检测和分析中尤为有价值。
| 能力 | 优势 |
|---|---|
| 高空间分辨率 | 实现对小特征、夹杂物或缺陷的局部分析 |
| 无损分析 | 适用于珍贵、历史或精细的样本 |
| 广泛的元素范围 | 检测 C – Am 的元素 |
| 最少的样品制备 | 可处理固体、粉末、液体、不规则或非导电样品，无需大量准备 |
| 多层结构分析 | 能够分析涂层、层压材料和多层材料 |
微束 X 射线荧光的工作流程
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步骤 1: 样品制备 所需制备工作最少。样品可以是固体、粉末、液体或不规则形状。为了获得最佳聚焦，平整度好更佳，但不是必须的。非导电样品无需涂层。 |
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步骤 2：数据采集 聚焦的X射线束扫描样品表面。荧光X射线通过能量色散探测器收集。系统记录发射X射线的强度和能量，以识别和量化元素。 EDAX® Orbis™ II 拥有专利轨道塔轮，可以精确瞄准特定区域，消除来自邻近区域的 X 射线干扰，为您提供最准确的数据。 请访问 edax.com 获取有关 Orbis II 微束 XRF 系统的更多信息。 |
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步骤3：分析 软件可生成元素分布图、线扫描和定量报告。用户可以可视化元素分布、检测痕量元素，并分析分层结构。 EDAX Orbis Vision II 软件简化了界面，使用户能够执行成像、元素分析、面分布、定量以及报告生成等功能。 请访问 edax.com 以获取有关 WDS 分析软件的更多信息。 |
